定制的DUV物镜用于半导体检查
集成到半导体设备系统的复杂定制光学机械组件
自定义机动变焦镜头模块
部分/

半导体设备

Excelitas拥有超过40年的设计、工程和生产激光、光源、光学和用于半导体制造和集成到半导体设备的复杂光学机械组件的专业知识。我们提供精确的稳定性,亚微米分辨率和可靠的光学机械精度,这是关键的持续发展的半导体技术。

集成到半导体设备系统的复杂定制光学机械组件

自定义光子解决方案

从精密光学解决方案的设计和原型制作到批量生产,Excelitas的光学专业知识和创新重新定义了光子学性能的包膜,包括光刻对准、晶圆检验、计量、芯片处理、粘接和封装。从DUV到IR,我们的光学解决方案使集成电路生产任务关键流程所需的特征尺寸不断减小。

从微观到宏观检查镜片

Excelitas提供用于芯片处理和晶片检测的高端光学组件、组件和子系统。加上我们广泛的照明和激光技术,Excelitas是您的半导体应用端到端光子解决方案的合作伙伴。bob投注体育信赖吗

  • 复杂平面,非球面,自由形,金刚石和金属光学
  • 高分辨率表面检查
  • 均匀的宽频带和窄频带照明
  • 光纤耦合固体激光器
  • 定制激光光束整形光学
  • 真空兼容光纤
  • 晶片对准参考资料

坚定的可靠性

我们擅长计算机定位、定位和固定技术。质量检测采用现代计量设备,包括沙克尔-哈特曼传感、非球面相移干涉法、紫外-红外干涉法、MTF测试和宽带分光光度法。我们拥有最先进的设备,配备最现代化的机械设备,1000级的洁净室装配设备,严格维护iso9001、14001和13485的质量。